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MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺研究
采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等.研制的微电感大小为1 500......
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microinductor
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